微細マイスターの部屋

薄板シリコンへの切削加工による微細・微細穴加工事例

2017年08月08日

微細加工ドットコムでは、SUS材やガラス、マシナブルセラミックへの微細加工・微細穴加工を行っています。

最近は、上記の様な切削加工を行う材料として一般的な材質以外にも微細加工を依頼されることが増えてきています。

今回は、最近頂いた問い合わせの中でも珍しい事例であるシリコンウェハーへの微細加工についてご紹介を致します。

こちらの問い合わせは、平板のシリコンに対して、20mm程度のサイズの楕円形状突起が10か所程度、さらに、外径部分に細穴加工を10か所程度加工指定のある製品でした。使用用途としては、電子・半導体向けと予想されますが、具体的には生産ラインでの治工具品とのことでした。その為、数量は数千~数万個求められるような製品ではなく、どんなに多くても100個程度の製品となっています。

半導体業界の方々には、馴染みのある「シリコンウェハーの加工」というと、エッチングによる量産加工が非常に一般的である言えます。

ちなみに、エッチング加工というとマスキングを製作し、溝加工を行う加工方法です。その為、加工をスタートするまでにリードタイムを要すること小ロット品の加工を行う場合にはイニシャルコストがかかりすぎる為に、今回のお問い合わせに対しては、最適な加工方法であるとは言えません。

そこで、今回はシリコンウェハーへの切削加工を行う事ができないか?という相談がありました。

シリコンウェハーへの切削加工は、ほぼ、セラミックへの加工と同じような点で難しいとされており、焼結体に近い事から切削中にヒビ・割れが発生しやすい等の問題があり、精度を出すことができないとされていました。

一方で、微細加工ドットコムでは、割れなどが原因で加工が難しいとされるガラスやセラミックへの微細切削加工を数多く行ってきており、専門工による条件だしノウハウの蓄積と微細加工専用機を保有することで、技術・設備・環境面でシリコンウェハーへの微細加工を実現しました。

今回の事例では、精度面で±数十μm程度までの寸法精度だしが可能となっています。

シリコンを始めとする難切削材への穴加工をはじめとする微細切削加工でお困りの方は微細加工ドットコムにお任せください。

微細加工ドットコムが提供する加工限界値について

2017年05月29日

微細加工ドットコムでは微細穴加工を得意とし、金属材料はもちろんマシナブルセラミックスやエンジニアリングプラスチック等の樹脂材料にも加工を行っています。

今回こちらでご紹介するのは、最近お問い合わせが増えてきている微細穴・溝加工に対するスペックについてです。

一般的な機械加工においては、幾何公差や寸法公差という数値で各社の技術力が評価されます。

一方、微細穴加工においては各社の技術力が径の大きさ、アスペクト比、穴位置精度の3つで評価されます。

そこで、下記に微細加工ドットコムが可能とする微細穴加工のスペックを一覧として掲載しています。

微細加工ドットコム 加工限界値表.png

加工限界は材料ごとに異なる為、各材料ごとの最小径・アスペクト比・穴位置精度を記載いたしました。

当社では、日々、加工限界へのチャレンジを行っており、このスペック表も随時更新していきます。

最新の加工限界が気になる場合には、一度お問い合わせください。

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超硬材に対する微細穴加工

2017年05月29日

これまでの微細加工ドットコムではマシナブルセラミックスやファインセラミックス、ガラス材等への微細穴加工を中心に行ってきました。

今回ご紹介するのは、新たに挑戦を行った超硬材に対する微細穴加工事例です。耐摩耗性や靱性等が求められる環境で使用される超硬材は、カッターやノズル等で使用されることが非常に多い材料と言えます。

当社が主にお客様としている液晶・半導体業界、電子部品業界等でも鉄、ステンレスから耐熱性や長寿命化に向け超硬材への材料変更のニーズが高まりを見せています。

そこで、微細加工ドットコムでも超硬材への加工、具体的には微細穴加工や微細溝加工に向けた取り組みを始めました。

最近取り組んだ加工サイズとしては、φ0.1mm~0.2mmの穴径に対して、±0.005mmの穴径公差の微細穴加工です。(現在はφ0.085mmに挑戦中)

今後は、最小径をより小さくすることと、ノズルやカッターに求められるような深い穴加工(現在の加工限界はL/D:1)を追求していきます。

以前にもご紹介したように、今後は高精度化・微細化に向け、さらなる設備導入と加工技術の向上を行っていきますので、超硬材をはじめとする材料への加工限界が気になる方はぜひともお問い合わせください。

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第109回早朝勉強会

2017年04月17日

今回は8番沈黙。9番ついで。10番都合。11番伝える。を勉強しました!

私は8番沈黙を選びました。

自分の意見を言うのが苦手なのですが、

これからはしっかり自分の意見を言っていくようにしていきます!!      たけうち

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5軸仕様 微細加工機 AndoroidⅡを2017年11月導入決定!

2017年04月04日

微細加工ドットコムでは、様々な業界の微細加工・微細穴加工のニーズにお応えしてきました。近年では半導体・液晶分野での技術発展に伴い、部品の高精度化・複雑形状化が進み、お客様の加工に対する要望も技術的に高度なものへと変化してきています。そこで、当社では新たに5軸仕様の微細加工機AndoroidⅡを導入し、加工精度だけでなく複雑形状品への対応にも幅を広げて行くことにしました。

こちらの加工機であれば、割り出し精度4秒、穴径精度でμm台の加工が可能となります。2017年11月よりこちらの加工機の運転をはじめますので、ぜひご相談ください!

超高精度高速微細加工機 【Android2】

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