微細加工技術コラム
千分台の平面度を実現する秘訣
昨今、千分台（μオーダー）の平面度を要求されることが多くなってきました。通常マシニング加工だと、平面度0.02～0.03程度であり、これを平面度0.01に追い込もうとすると、平面研削加工が必要になります。さらに、これを千分台にするには全く異なる工夫が重要となり、非常に多くのポイントを測定するような必要がある複雑形状となれば、さらなる工夫が必要です。
では、我々、中川製作所では、どのように平面度を千分台に仕上げているかをご紹介します。
切削工程で、Ｚ方向に非常に精度高く、つまり、平面度0.01程度へとマシニング工程で仕上げる必要があります。ここで、精度高く仕上げていないと、余分な取り代が多くなり、千分台の平面度を仕上げることが難しくなります。
当社では、研磨工程に移る前に、高度な微細加工技術を用いて、予め、Ｚ方向への精度を百分台に仕上げています。そして、後工程にて、研磨加工を行うことにより、千分台に仕上げることが可能となっています。
検査工程では、±0.5℃程度に管理された恒温室にて、検査装置により測定しています。測定誤差を最小限にするため、複数回同様の測定を行い、品質保証を徹底しています。
こういった千分台の平面度を実現してほしいと、半導体・光学系の設備部品や治具の製造依頼が増加しています。千分台の平面度が求められる微細加工品なら、微細加工ドットコムにお任せください。上述のノウハウを用いて、お客様のご要望を実現します。
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