半導体製造装置向けシャワープレート

材質：アルミ
穴径：段穴加工（Φ1.0×Φ0.5）
穴数：1500穴
穴位置精度：±0.01

小径穴加工（テーパー穴×内面仕上げ加工）

材質：
穴径：
穴数：
穴位置精度：

真鍮　φ0.03　微細穴加工

材質：真鍮
穴径：φ0.03
穴数：1穴
穴位置精度：±0.005

スミカスーパー　φ0.045×50穴

材質：スミカスーパー
穴径：φ0.045
穴数：50
穴位置精度：±0.005

斜め穴連続加工

材質：SUS304
穴径：φ1.0、φ1.4
穴数：φ1.0：140穴、φ1.4：70穴
穴位置精度：-

微細穴加工（バリレス加工）

材質：SUS304
穴径：φ0.06
穴数：5
穴位置精度：±0.005

PPS微細・精密加工品

材質：PPS
穴径：
穴数：
穴位置精度：

窒化珪素(Si3N4)　微細加工

材質：窒化珪素（Si3N4）
穴径：φ0.05mm×深さ0.4mm
穴数：9穴
穴位置精度：±0.003mm

SUS304　φ0.5 × 深さ25mm × 100穴

材質：SUS304
穴径：φ0.5（深さ25mm）
穴数：100穴
穴位置精度：±0.008

マシナブルセラミックス　φ0.02×100穴

材質：マシナブルセラミック
穴径：φ0.02
穴数：100
穴位置精度：穴径公差・位置度±0.003

SUS304　φ0.1 × 深さ5mm × 100穴

材質：SUS304
穴径：φ0.1（深さ5mm）
穴数：100穴
穴位置精度：±0.008

アルミナ微細穴加工　φ0.08×1000穴

材質：アルミナ
穴径：φ0.08
穴数：1000
穴位置精度：±0.005

ホトベールⅡS　φ0.04×2,000穴

材質：ホトベールⅡS
穴径：φ0.04
穴数：2000
穴位置精度：±0.005

SK3　φ0.9×2500穴

材質：SK3
穴径：φ0.9
穴数：2500
穴位置精度：±0.01

スミカスーパー　φ0.55×121穴

材質：スミカスーパー
穴径：φ0.55
穴数：121
穴位置精度：±0.005

マシナブルセラミックス　φ0.1×100穴

材質：マシナブルセラミック
穴径：φ0.1
穴数：100
穴位置精度：±0.005mm

チタン　φ0.02×100穴

材質：チタン
穴径：φ0.02
穴数：100
穴位置精度：±0.005

マシナブルセラミックス　微細穴加工　φ0.3×6,000穴

材質：マシナブルセラミックス
穴径：φ0.3mm
穴数：6000
穴位置精度：±0.005

SK3　φ0.2×深さ5

材質：SK3
穴径：φ0.2
穴数：100
穴位置精度：±0.008

アルミA5052　φ5×2,000穴

材質：アルミニウム　A5052
穴径：φ5
穴数：2,000
穴位置精度：±0.01

PES　微細穴加工　φ0.25mm×250穴

材質：PES
穴径：φ0.25mm
穴数：250
穴位置精度：+0.02 -0

SUS304 微細穴加工　φ0.03mm(30μm)×1穴

材質：SUS304
穴径：φ0.03
穴数：1
穴位置精度：±0.005

テフロン　φ0.15×900穴

材質：３化フッ素（テフロン）
穴径：φ0.15
穴数：900
穴位置精度：±0.01

純チタン　φ0.5×2mm　細穴加工

材質：純チタン
穴径：φ0.5mm
穴数：10
穴位置精度：±0.01

64チタン（Ti-6Al-4V）　微細ネジ切り・長穴加工

材質：64チタン（Ti-6Al-4V）
穴径：φ3.0
穴数：1
穴位置精度：同心度0.05

純チタン2種（TP340）　微細加工

材質：純チタン2種（TP340）
穴径：3~5mm
穴数：10
穴位置精度：±0.01

トップファイン　R8220　φ0.04mm×1,500穴

材質：トップファイン
穴径：φ0.04mm
穴数：1500
穴位置精度：±0.005mm

アルミナ(ファインセラミックス)φ0.125mm微細穴加工

材質：アルミナ
穴径：φ0.125mm
穴数：100
穴位置精度：±0.005mm