SUS304 半導体製造装置 微細穴加工

材質：SUS304
穴径：φ0.8mm
穴数：1個
穴位置精度：±5/100mm

ステンレス　電子ビーム溶接

材質：ステンレス
特記事項：電子ビーム溶接

ホトベール　微細穴加工（段穴加工）

材質：ホトベール
穴径：①φ0.28 +0.01, 0　×　2.6　②φ0.14 +0.01, 0　×　0.4
穴数：1000個
穴位置精度：±0.005

SUS304　精密マシニング加工（ポケット加工）

材質：SUS304
特記事項：

アルミ（A5052）　微細溝加工

材質：A5052
溝幅：0.5
溝深さ：0.02
加工精度：±0.01

真鍮（黄銅）　微細穴加工

材質：真鍮（黄銅）
穴径：0.35mm
穴数：15,000個
穴位置精度：±0.04

ジルコニア（焼成後）マシニング加工

材質：ジルコニア
特記事項：

A5052　高精度穴加工

材質：アルミ（A5052）
特記事項：

NAK55　マシニング加工

材質： NAK55
特記事項：

A5052 小径穴加工（2万穴）

材質：A5052
穴径：0.3mm
穴数： 2万穴
穴位置精度：±0.05

SUS303　小径穴加工

材質：SUS303
穴径：50μm
穴数：2個
穴位置精度：±0.002

Peek　微細深穴加工

材質：Peek
穴径：2.5
穴数：7個
穴位置精度：±0.1

ステンレス　微細穴加工

材質：SUS304
穴径：Φ0.275±0.001
穴数：1
穴位置精度：

A5052　マシニング加工（制御プレート）

材質：アルミ（A5052）
特記事項：壁厚がかなり薄い製品に対して高精度に加工を施している

銅　マシニング加工

材質：銅
穴径：φ0.4mm×深さ4mm
穴数：1,200
穴位置精度：±0.01

A5052　精密マシニング

材質：アルミ（A5052）
特記事項：

樹脂　精密マシニング加工

材質：PEEK
特記事項：マシニング加工＋手仕上げ

トップファイン　微細穴加工

材質：トップファイン
穴径：Φ0.07
穴数：2000穴
穴位置精度：

銅　ヘリカル加工（マシニング加工）

材質：銅
特記事項：ヘリカル加工にて対応

チタン　微細穴加工

材質：純チタンⅠ種（TP270）
穴径：Φ0.5
穴数：
穴位置精度：

銅　微細溝加工

材質：銅
溝幅：0.3
溝深さ：0.35
加工精度：±0.05

SUS304　微細溝加工

材質：SUS304
溝幅：0.5
溝深さ：0.3
加工精度：±0.05

SCM415H　微細マシニング加工品

材質：SCM415H
特記事項：ギヤの歯形は非連続の曲線であったため、相対する部品との細かな調整（3μm〜5μm）を追加工で行っている。

微細溝加工品（a5052）

材質：A5052
溝幅：1mm
溝深さ：2.3mm
加工精度：

テーパー穴加工品（A5052）

材質：A5052
特記事項：テーパー穴加工（入り口部分がΦ30mm、出口部分がΦ6mm）

微細溝加工品（A5052）

材質：A5052
溝幅：0.6mm
溝深さ：0.06mm
加工精度：±0.005

SUS304 微細マシニング加工（半球加工）

材質：SUS304
特記事項：半球加工×200（R0.45）

無酸素銅 微細加工（半球加工）

材質：無酸素銅
特記事項：半球加工×200（R0.45）

クロス穴加工品（A6061）

材質：A6061
穴径：φ2mm,φ1mm
穴数：12
角度：斜め30°,ストレート

微細溝加工品（SUS304）

材質：SUS304
溝幅：W0.3
溝深さ：D0.45
加工精度：±0.05

無酸素銅 微細穴加工

材質：無酸素銅
穴径：-
穴数：-
穴位置精度：-

A6061 微細穴加工（3000穴）

材質：A6061
穴径：φ1.5
穴数：3000
穴位置精度：-

SUS304 R面取り

材質：SUS304
穴径：-
穴数：-
穴位置精度：-

A5052 流路

材質：A5052
溝幅：1.0mm
溝深さ：1.5mm
加工精度：±0.01

SUS303 微細穴加工

材質：SUS303
穴径：φ0.3mm×5mm
穴数：
穴位置精度：±0.003

アルミ 精密マシニング加工

材質：アルミ
特記事項：ワークサイズ大きいため外径加工に関して#40マシンぐセンタ を使用。工具で傷が付かないように穴の入口にR0.5の面取り加工がされている　

アクリル　微細穴加工

材質：アクリル（透明）
穴径：Φ0.10
穴数：30
穴位置精度：±0.01

アルミ（A6061）微細穴加工（φ1.5）

材質：アルミ（A6061）
穴径：Φ1.5
穴数：3000
穴位置精度：±0.01

無酸素銅　微細穴加工

材質：無酸素銅
穴径：Φ0.8
穴数：150
穴位置精度：±0.05

SUS630　微細溝加工

材質：SUS630
溝幅：0.07mm
溝深さ：1.0mm
加工精度：±0.01

無酸素銅　溝加工品

材質：無酸素銅
溝幅：1.0mm
溝深さ：8.0mm
加工精度：±0.05

精密ステンレス加工（ワイヤー・小径穴）

材質：SUS303
溝幅：0.5mm
溝深さ：15mm
加工精度：±0.03

六角穴　微細加工品

材質：アルミA1050
穴径：六角穴（対角寸法1.2mm）
穴数：37穴
穴位置精度：±0.01

SUS四角穴加工

材質：SUS304
特記事項：▭3×d5の角穴が200穴、角穴の入り口をR面仕上げ

半導体製造装置向けシャワープレート

材質：アルミ
穴径：段穴加工（Φ1.0×Φ0.5）
穴数：1500穴
穴位置精度：±0.01

小径穴加工（テーパー穴×内面仕上げ加工）

材質：SUS304
穴径：テーパー穴（入口Φ5・出口Φ3）
穴数：150
穴位置精度：-

微細溝加工品 S50C 溝幅1.05 壁厚0.2

材質：S50C
溝幅：1.05
溝深さ：0.7
加工精度：±0.05

真鍮　φ0.03　微細穴加工

材質：真鍮
穴径：φ0.03
穴数：1穴
穴位置精度：±0.005

スミカスーパー　φ0.045×50穴

材質：スミカスーパー
穴径：φ0.045
穴数：50
穴位置精度：±0.005

斜め穴連続加工

材質：SUS304
穴径：φ1.0、φ1.4
穴数：φ1.0：140穴、φ1.4：70穴
穴位置精度：-

ジルコニア微細加工　□0.05

材質：ジルコニア（ZnO2）
特記事項：□0.05の角穴

マシニング小径穴加工品

材質：SUS304
特記事項：小径穴入口部　R0.2

タフピッチ銅（C1100）微細溝マシニング加工品

材質：タフピッチ銅（C1100）
溝幅：2.5mm
溝深さ：3.5mm
加工精度：±0.05

微細穴加工（バリレス加工）

材質：SUS304
穴径：φ0.06
穴数：5
穴位置精度：±0.005

アルミダイキャストへの極小ポケット加工

材質：ADC（アルミダイキャスト）
溝幅：0.1×0.8mm
溝深さ：1.0ｍｍ
加工精度：±0.01mm

微細マシニング加工品（ステンレス+超硬）

材質：SUS304+超硬（非磁性材）
特記事項：先端部に超硬貼り付け

精密マシニング加工プレート（A5052、±0.02mm）

材質：アルミ　A5052
特記事項：φ1.3×d12×13,500穴

微細マシニング加工品（V溝幅1.1ｍｍ、±0.005mm）

材質：SKS3（合金工具鋼）
特記事項：MC加工後、平研

PPS微細・精密加工品

材質：PPS
穴径：
穴数：
穴位置精度：

高精度アルミプレート加工（平面度0.03）

材質：アルミA5052
特記事項：平面度0.03mm　430×320×9mm

アルミベースプレート（平面度0.03mm）

材質：アルミA5052
特記事項：平面度0.03mm　450×300×20mm

アルミプレート（試験管スタンド）

材質：アルミA5052
特記事項：加工3倍速でも高精度を実現

アルミ精密加工品（装置部品）

材質：アルミ　A5052
特記事項：穴位置精度±0.01mm

アルミ精密マシニング加工プレート

材質：アルミA5052
特記事項：精密加工用に社内治具として設計・製作

窒化珪素(Si3N4)　微細加工

材質：窒化珪素（Si3N4）
穴径：φ0.05mm×深さ0.4mm
穴数：9穴
穴位置精度：±0.003mm

アルミ微細溝加工　W0.33×d0.35×L50　150溝

材質：A5052
溝幅：0.33
溝深さ：0.35
加工精度：±0.01

SUS304　幅0.1×長さ10×深さ0.8　微細溝加工

材質：SUS304
溝幅：幅0.1mm × 長さ10mm
溝深さ：0.8mm
加工精度：±0.01

SUS304　φ0.5 × 深さ25mm × 100穴

材質：SUS304
穴径：φ0.5（深さ25mm）
穴数：100穴
穴位置精度：±0.008

マシナブルセラミックス　φ0.02×100穴

材質：マシナブルセラミック
穴径：φ0.02
穴数：100
穴位置精度：穴径公差・位置度±0.003

SUS304　φ0.1 × 深さ5mm × 100穴

材質：SUS304
穴径：φ0.1（深さ5mm）
穴数：100穴
穴位置精度：±0.008

アルミナ微細穴加工　φ0.08×1000穴

材質：アルミナ
穴径：φ0.08
穴数：1000
穴位置精度：±0.005

ホトベールⅡS　φ0.04×2,000穴

材質：ホトベールⅡS
穴径：φ0.04
穴数：2000
穴位置精度：±0.005

SK3　φ0.9×2500穴

材質：SK3
穴径：φ0.9
穴数：2500
穴位置精度：±0.01

スミカスーパー　φ0.55×121穴

材質：スミカスーパー
穴径：φ0.55
穴数：121
穴位置精度：±0.005

マシナブルセラミックス　φ0.1×100穴

材質：マシナブルセラミック
穴径：φ0.1
穴数：100
穴位置精度：±0.005mm

チタン　φ0.02×100穴

材質：チタン
穴径：φ0.02
穴数：100
穴位置精度：±0.005

マシナブルセラミックス　微細穴加工　φ0.3×6,000穴

材質：マシナブルセラミックス
穴径：φ0.3mm
穴数：6000
穴位置精度：±0.005

SK3　φ0.2×深さ5

材質：SK3
穴径：φ0.2
穴数：100
穴位置精度：±0.008

アルミA5052　φ5×2,000穴

材質：アルミニウム　A5052
穴径：φ5
穴数：2,000
穴位置精度：±0.01

SUS303　極小部品に微細穴加工

材質：SUS303
穴径：±0.02
穴数：-
角度：-

PES　微細穴加工　φ0.25mm×250穴

材質：PES
穴径：φ0.25mm
穴数：250
穴位置精度：+0.02 -0

SUS304 微細穴加工　φ0.03mm(30μm)×1穴

材質：SUS304
穴径：φ0.03
穴数：1
穴位置精度：±0.005

テフロン　φ0.15×900穴

材質：３化フッ素（テフロン）
穴径：φ0.15
穴数：900
穴位置精度：±0.01

純チタン　φ0.5×2mm　細穴加工

材質：純チタン
穴径：φ0.5mm
穴数：10
穴位置精度：±0.01

64チタン（Ti-6Al-4V）　微細ネジ切り・長穴加工

材質：64チタン（Ti-6Al-4V）
穴径：φ3.0
穴数：1
穴位置精度：同心度0.05

純チタン2種（TP340）　微細加工

材質：純チタン2種（TP340）
穴径：3~5mm
穴数：10
穴位置精度：±0.01

トップファイン　R8220　φ0.04mm×1,500穴

材質：トップファイン
穴径：φ0.04mm
穴数：1500
穴位置精度：±0.005mm

アルミナ(ファインセラミックス)φ0.125mm微細穴加工

材質：アルミナ
穴径：φ0.125mm
穴数：100
穴位置精度：±0.005mm

PX(パイレックス)ガラス　微細穴・微細溝加工

材質：PX(パイレックス)ガラス
溝幅：0.15mm
溝深さ：0.1mm
加工精度：―

クローム銅　電極金型加工

材質：クローム銅
特記事項：微細形状加工、磨きレス、電極×50ケ

SKD　微細形状加工

材質：SKD
特記事項：磨きレスでの形状切削加工

SUS430　W:1mm×D:0.3mm

材質：SUS430
溝幅：1mm
溝深さ：0.3mm
加工精度：± 0.03 mm

微細クロス穴（斜め穴）加工事例

材質：チタン
穴径：φ1.0mm
穴数：2穴
角度：±0.01