微細加工における課題を豊富な微細加工技術と
最速のサービスで解決

微細加工ドットコム

微細加工のお問い合わせはこちら
(平日8:30〜17:30)


TEL

  • TOP
  • 設備情報

設備情報

  • 微細加工機
  • 検査・測定器
  • その他設備

微細加工機一覧

名称 メーカー 機種名 台数  
超高精度高速微細加工機 碌々産業 Android 1台 詳しく見る
5軸仕様 超高精度高速微細加工機 碌々産業 AndroidⅡ(アンドロイドⅡ) 1台 詳しく見る
高精度高速小径微細加工機 碌々産業 MEGA(メガ) 3台 詳しく見る
平面研削盤 三井ハイテック製 MSG-250HMD 1台 詳しく見る
超精密 油仕様ワイヤー放電加工機 西部電機 MEX15 1台 詳しく見る
リニアモータ駆動水仕様 ワイヤー放電加工機 ソディック AQ327L 1台 詳しく見る
超高精度高速微細加工機  碌々産業製 Android(アンドロイド)

超高精度高速微細加工機  碌々産業製 Android(アンドロイド)

回転数3,000~50,000min-1
刃長・径(測定能力)最小10μm
軸移動量(XYZ) 450mm×350mm×200mm
テーブルサイズ 550mm×350mm
ATC工具収納本数 40本

微細加工ドットコムが得意とする超高精度微細加工・小径穴加工・挟ピッチ加工などを行う専用マシニングセンター機(碌々産業のAndroid)です。碌々産業のアンドロイドは、微細加工においての最高峰の機種であり、サブミクロン台の超高精度微細加工が可能で最小径は10μmまで対応しています。
対応材料としてはアルミ・SUS・SKD・NAKなどの金属材や、樹脂、シリコンウエハ、セラミックス、石英ガラス等の加工が可能となっています。また、当社のアンドロイドは、オプション機能として温度センサーを取り付けており、精度確保に必要となる部位の温度管理を行っており、他の加工機では難しい超高精度な微細加工が可能となっています。

5軸仕様 超高精度高速微細加工機  碌々産業製 Android(アンドロイド)Ⅱ

5軸仕様 超高精度高速微細加工機  碌々産業製 Android(アンドロイド)Ⅱ

回転数3,000~60,000min-1
刃長・径(測定能力)最小10μm
軸移動量(XYZ)450mm×350mm×200mm
テーブルサイズ550mm×350mm
ATC工具収納本数40本

微細加工ドットコムでは、様々な業界からの微細穴加工のご要望にお応えするため、2017年11月に5軸仕様の超高精度高速微細加工機 AndroidⅡを導入いたします。このAndroidⅡは従来の微細加工機Androidと同様のサブミクロン台の超高精度微細加工能力はそのままに5軸加工に対応したマシニングセンタであり、分析・検査機器で使用される液体混合用部品、あるいは光学分野などで必要とされる部品にニーズのあるクロス穴加工(斜め穴加工)に対応することが可能です。

微細クロス穴加工(斜め穴加工)は、現状アルミ・ステンレス等の金属材、あるいはエンプラやガラス等への加工を想定しておりますが、これ以外の材質に対してもチャレンジして参ります。

また、このAndroidⅡにも温度センサーを16ケ取り付け、精度確保に必要となる部位の温度管理を行い、さらなる高精度な微細加工を行って参ります。

高精度高速小径微細加工機 碌々産業製 MEGA(メガ)

高精度高速小径微細加工機 碌々産業製 MEGA(メガ)

回転数3,000~40,000min-1
刃長・径(測定能力)最小30μm(3号機)
最小50μm(1.2号機)
軸移動量(XYZ)410mm×330mm×200mm
テーブルサイズ600mm×330mm
ATC工具収納本数30(本):1台
11(本):2台

こちらの微細加工機は、微細加工ドットコムが得意とする高精度微細加工を実現する専用マシニングセンタ機(碌々産業製 MEGA)となります。碌々産業のメガは、アンドロイドには加工スペックが劣るものの、X-Y軸熱変位対策を備えた熱分離システム「H・I・S制御」搭載することで熱変化による影響を除去しています。また、ワーク交換精度が±1μm(実績値)まで可能な自動交換システムを搭載、完全無人化連続運転が可能です。
位置決め精度が非常に高く、XYZ軸に対して±0.3μmまで可能で、ATC工具収納本数が30本と非常に多いことから加工に合わせた最適な工具の使用による高精度加工を実現しています。

平面研削盤 三井ハイテック製 MSG-250HMD

平面研削盤 三井ハイテック製 MSG-250HMD

テーブル最大動き 500(480)mm×250(230)mm
テーブル作業面の大きさ 480×200㎜
砥石軸芯までの高さ 400㎜
一回ごとの切り込み量(=厚み調整量) 0.002~0.02㎜

平面研削盤は、板材等に対して表面粗さの指定がある場合に使用する加工機です。
微細加工ドットコムが得意とする微細加工は極小穴加工・溝加工に対応していますが、そのワークの表面粗さと板厚に対する高い精度要求への対応が求められます。
そこで、当社では切り込み量(厚みの調整量)が0.002~0.02mmまで可能な平面研削盤を保有し、高い面粗度と寸法公差指定を持つ部品の加工にも対応しています。

超精密 油仕様ワイヤー放電加工機 MEX15

超精密 油仕様ワイヤー放電加工機 MEX15

使用ワイヤ線径φ0.03、φ0.07、φ0.1
真直度0.07μm(X軸110mmの真直度)
真円度0.4μm
微細加工形状精度±0.5μm
工作物最大寸法180×165×60mm
各軸ストロークX軸150 × Y軸150 × Z軸120mm

この西部電機製 超精密 油仕様ワイヤー放電加工機 MEX15は、精密加工および微細加工を極めたワイヤー放電加工機です。一般的なワイヤー放電加工機は水仕様ですが、このMEX15は水ではなく絶縁性の高い油仕様にすることで、水に比較して異常放電を低減させ、超精密な加工が安定的にできることが特徴です。さらに超硬材をカットした際には、水仕様であればコバルトが溶出してしまうので表面の硬度低下を引き起こしますが、油仕様だとコバルトの溶出はなく硬度低下は発生しません。 こうした油仕様の特徴はもちろん、西部電機製 超精密 油仕様ワイヤー放電加工機 MEX15は超高精度ガイドも搭載しており、真直度0.07μm(X軸110mmの真直度)、真円度0.4μmの静的精度を実現しています。さらに最少ワイヤ径φ0.03mmを使用することができ、微細加工形状精度 ±0.5μm も対応可能です。 碌々産業製アンドロイド・メガと併用することで、より幅広い微細加工ニーズにお応えすることが可能です。

リニアモータ駆動水仕様 ワイヤー放電加工機 ソディック製 AQ327L

リニアモータ駆動水仕様 ワイヤー放電加工機 ソディック製 AQ327L

各軸ストローク 370mm×270mm×250mm
使用ワイヤ線径φ0.15、0.2㎜のワイヤーを適宜使用
最大工作物寸法570mm×420mm×240mm

微細加工ドットコムでは高速水仕様ワイヤー放電加工機も保有しており、板厚350mmまで長さ570mmまでのワークに対応が可能となっています。最も多い用途としては、φ0.2㎜のワイヤー線を使用して金型や治具の外形加工・切り出し加工に用いています。また当社では、高精度微細穴加工を行った後のワークの分割に使用しています。マシニングセンタでの切削加工では対応しづらい、エンドミル薄板材料の切りだしや最少R0.075での抜き加工にも対応しています。

検査・測定器一覧

名称 メーカー 機種名 台数  
CNC画像測定器 ミツトヨ QV-APEX404 1台 詳しく見る
走査型電子顕微鏡(SEM) JEOL JSM-6390LN 1台 詳しく見る
レーザー顕微鏡 キーエンス製 VK-8710 1台 詳しく見る
画像測定機 ミツトヨ MF-A1720 1台 詳しく見る
表面粗さ・輪郭形状測定器 東京精密 Surfcom1800D 1台 詳しく見る
画像寸法測定機 キーエンス製 IM-6000 1台 詳しく見る
CNC画像測定器 ミツトヨ製 QV-APEX404

CNC画像測定器 ミツトヨ製 QV-APEX404

測定範囲400mm×400mm×250mm
測定精度X:(1.5+3L/1000)μm
Y:(1.5+3L/1000)μm
Z:(1.5+4L/1000)μm
XY軸駆動速度 400㎜/s
仕様 タッチトリガープローブ付き

CNC画像測定機のCNCとはComputer Numerical Controlの略で「コンピュータ数値制御」を意味し、画像処理技術に基づいて高速かつ高精度での自動測定を可能にしています。高精度なCCDを用いて、カラー画像での観察が可能となっています。また、ソフトウエアの進化で多彩なエッジ検出ができるほか、複雑な演算に対応しています。
QV-APEX404ではZ軸に対して1.5+4L/1000μmまでの高精度測定が可能となっており、投影機や測定顕微鏡と同じく、画像を用いて測定を行なう非接触式であることから面荒さに影響されない測定が可能となっています。
微細加工ドットコムが得意とする微細穴加工の止まり穴・貫通穴ともに測定が可能となっており、
また、測定可能サイズの目安として、12インチのシリコンウエハーの測定治具が行えるテーブルが備え付けられています。材質にも影響を受けず、樹脂・セラミック・金属すべてに対応しており、低反射率の測定ワークに対しても、鮮明な画像が提供可能となっています。

走査型電子顕微鏡(SEM) JEOL製 JSM-6390LN

走査型電子顕微鏡(SEM) JEOL製 JSM-6390LN

分解能3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)、15nm(1kV)
倍率 ×5~300,000
試料寸法 φ150mm

走査型電子顕微鏡(SEM)とは被検物を電子線で走査し、被検物から出る二次電子などを検出することで被検物表面の観察を行う装置です。
寸法測定を得意とする光学顕微鏡に比べ、3,000~10,000倍という高倍率の特性を活かし、切削面の状態やバリなどの表面の立体構造の観察に適しています。
微細加工ドットコムで行う加工は研究開発案件が多く、時として未知の領域への挑戦となるような案件もあります。その為、加工前の素材の状態と加工後の変化を観察して、加工を行うことが加工精度を向上させる上でのポイントとなります。JOEL製のSEMは、この点を考慮すると当社の加工に非常に適した加工設備であると言えます。

レーザー顕微鏡 キーエンス製 VK-8710

レーザー顕微鏡 キーエンス製 VK-8710

測定範囲高さ:7mm
表示分解能高さ:0.01μm
幅:0.01μm
繰り返し精度高さ:0.03μm
幅:0.03μm

レーザー光でXY方向の平面スキャンをし、Z軸の距離分繰り返す事で、高解像度の画像(最高倍率1,500倍)、表面粗さ形状、輪郭形状の測定を行うことができます。
表面粗さ測定に関しては2Dか3Dの画像をみながら、頂点や、異物を避けて、狙った場所の粗さを測定できます。レーザー光による非接触測定であるため、デリケートな被検物に傷をつけることがありません。RaやRyなど、JISに準拠した 様々なパラメータを算出可能です。視覚的には、違いがあるが、何がどれくらい違うのか?面で粗さを測定することで、平均化された違いが数値で確認できます。
輪郭形状測定に関しては画面上で任意に指定した直線・曲線の断面プロファイルに対して、「高さ」「幅」「断面積」「角度」「R」などの計測ができます。表面粗さ測定と同じく、レーザー光による非接触測定であるため、デリケートな被検物に測定子によって傷をつけることがありません。

画像測定機 ミツトヨ製 MF-A1720

画像測定機 ミツトヨ製 MF-A1720

ステージストローク 200×170mm
最大測定高さ 220mm
対物レンズ 3×(標準付属)、1×、5×、10×、20×、50×、100×

画像測定器は、一般的に測定顕微鏡は観察機能に測定機能が付加された顕微鏡を指します。その用途は様々ですが、半導体・電子電気部品・精密部品・工具・医療品などが被検物とされ、接触測定できないほどの微細加工品、挟ピッチ加工品における小さな穴径などの測定に対応が可能です。
微細加工ドットコムが所有している画像測定顕微鏡では、顕微鏡本体から出力されるデジタルカウンタの座標値とPC経由でモニター上に取り込んだ画像をもとにエッジ合わせを画像処理で行い測定していきます。ステージ上での測定範囲はX:170mm、Y:200mmであり、PCモニター上での測定精度±2.5μm以下、モニター上での繰り返し制度は±1μm以下です。

表面粗さ・輪郭形状測定器 東京精密製 Surfcom1800D

表面粗さ・輪郭形状測定器 東京精密製 Surfcom1800D

測定範囲 X軸:100mm
Z軸:50mm
測定範囲Z軸 粗さ:800μm
輪郭:50mm
真直度精度 粗さ:0.05+1.5L/1000 μm 
(L:測定長さ mm)
輪郭:1 μm/100 mm

輪郭形状測定器は測定物の表面を触針でトレースすることにより、その輪郭を拡大して記録する測定機です。
また、表面粗さ測定器とは、主に機械加工した面における「粗さ」を予め決められた解析手法で数値化し、表現するための測定機です。「粗さ」とは小さい間隔で起こる表面のデコボコで、”ツルツル している”とか、”ザラザラしている”などと感じる基になるものです。
微細加工ドットコムで提供する微細加工品は、輪郭とその表面粗さを問われることが多く、保有するSurfcom1800Dは検出器の交換により、表面粗さ測定、輪郭形状測定が可能であり、恒温室で管理していることから非常に高い品質保証が可能です。

画像寸法測定機 キーエンス製  IM-6000

画像寸法測定機 キーエンス製  IM-6000

各軸ストローク 370mm×270mm×250mm
視野 広視野測定モード : φ100mm
高精度測定モード : φ25mm
繰り返し精度
測定精度2σ 広視野測定モード : ±5μm(ステージ中心からφ80mmの範囲、合焦点位置にて使用温度範囲+23±1.0℃のとき)
高精度測定モード : ±2μm(ステージ中心からφ20mmの範囲、合焦点位置にて使用温度範囲+23±1.0℃のとき)

こちらの画像寸法測定機は測定対象となるワークサイズや要求測定精度にもよりますが、投影機、測定顕微鏡、画像測定器よりも圧倒的に速く寸法測定を行うことができます。(広視野測定モード 連結なし:±5μm  連結測定:±(7+0.02L)μm)
微細加工ドットコムが得意とする狭ピッチ穴加工の品質保証にも適しており、同径99穴に対する径の大きさおよび位置の測定が5秒程度で測定が可能となっています。これにより、限られた時間内でも測定サンプル数を飛躍的に増やすことで生産性が向上し、安定した品質保証を提供しています。

その他設備一覧

名称 メーカー 機種名 台数  
マシニングセンタ マザック VERTICAL CENTER NEXUS 510C 1台 詳しく見る
マシニングセンタ マザック VERTICAL CENTER SMART 530C 1台 詳しく見る
無窓恒温室 2室 詳しく見る
マシニングセンタ 森精機 NV5000α 1B/40 1台 詳しく見る
マシニングセンタ ファナック製ロボドリル α-T14iEL 1台 詳しく見る
デジタル高制御デシケーター アズワン AQLYEPS(大型) 1台 詳しく見る
マシニングセンタ マザック製 VERTICAL CENTER NEXUS 510C

移動量1050mm×510mm×510mm
テーブルサイズ1300mm×550mm
主軸回転速度12,000rpm
ATC工具収納本数30(本)

微細加工ドットコムでは、微細加工品のほか、お客様から高精度マシニング加工品の加工を求められることがあります。その場合は、当社ではマザック製VERTICAL CENTERを用いて切削加工を行っています。微細加工ドットコムでは、VERTICAL CENTER を 新型のSMART 530C と NEXUS 510Cを保有しておりますが、ワークサイズや加工精度においては同等のマシニングセンタになります。  なお、これらのマシニングセンタでは対応できない高精度・高精密な切削加工を求められる場合は、微細加工機と合わせて使用することで、お客様のご要望にお応えしております。

マシニングセンタ マザック製 VERTICAL CENTER SMART 530C

移動量1050mm×530mm×510mm
テーブルサイズ1300mm×550mm
主軸回転速度12,000rpm
ATC工具収納本数30(本)

微細加工ドットコムでは、微細穴や微細溝加工などのほかに周辺部品としてマシニング加工品も併せて納入させて頂くことが多くあります。これらのマシニング加工品は、微細加工品と同様に高精度な切削加工が求められるため、加工機も同様に精密加工が必要とされます。 このマザック製VERTICAL CENTER SMART 530Cは、こうしたお客様のご要求にお応えするために導入したもので、手のひらサイズのマシニング加工品から1m弱の長物まで、幅広く対応しています。

無窓恒温室

広さ 10m×10m
温度管理23℃±0.5℃(吹き出し口での温度管理)
部屋全体が均一になるようにサーキューレーターを併用
付帯設備風除室

一般の作業者が比較的頻繁に出入りする第一恒温室と風除室を伴った2段階式の恒温室があります。
特に超高精度高速微細加工機 Androidが設置されている無窓の第二恒温室には精密空調設備を導入し、23±0.5℃を目標に管理しています。
この環境によって熱膨張率の高い樹脂やセラミックスなどへの加工精度の更なる向上を目指しています。

マシニングセンタ 森精機製 NV5000α 1B/40

マシニングセンタ 森精機製 NV5000α 1B/40

移動量1020mm×510mm×510mm
テーブルサイズ1320mm×600mm
主軸回転速度14000min-1

こちらの森精機製のマシニングセンター機は、微細加工ドットコムが得意とする高精度微細加工ではなく、治具製作などを行うことを目的に導入しました。機械の特徴として、テーブルサイズが大きい点と主軸回転速度が14000回転と非常に高い事があげられます。低中回転でのスチールやSUS加工はもちろん、高速回転によるアルミ材への加工にも対応が可能となっています。

マシニングセンタ ファナック製ロボドリル α-T14iEL

マシニングセンタ ファナック製ロボドリル α-T14iEL

移動量500mm×400mm×330
テーブルサイズ650mm×400mm
主軸回転速度10000rpm
ATC工具収納本数14(本)

微細加工ドットコムでは、高速、高効率小型切削加工機として有名なファナック製のロボドリルを保有しています。 微細加工ドットコムでは、主軸型で標準主軸のロボドリルを保有しており、±5/100の精度の加工に対してはこちらの機械で対応しています。他の専用機と比較して、工具取り替え時間が短い為に生産性が非常に高い加工であると言えます。また、加工に必要となる治具製作も内製化し高効率な微細加工に取り組んでいます。

デジタル高制御デシケーター アズワン製 AQLYEPS(大型)

湿度設定範囲0~60%RH
温湿度表示精度湿度制御範囲:15%RH※3/20%RH
測定範囲0~60℃/10~60%RH
表示分解能1℃/1%RH

デシケータ―とは、設定した温度・湿度を一定に保つ保管庫を指します。
微細加工ドットコムでは、温度湿度によって、寸法変化を起こす材料や酸化してしまう材料を使用する為に、保存する為に第二恒温室内にデジタル高制御デシケーター アズワン製 AQLYEPS(大型)を保有しています。これにより、特に樹脂材では保管状況が重要となっており、当社が保有する高精度微細加工機を保有して、高精度品を提供する上では重要な付帯設備となっています。