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微細加工用語集

ウエービング

微細加工機で重要な要素である案内面の評価の一つで機械の狭範囲での真直度を示します。
リニアモーションガイドの転動体がベアリング部(キャリッジ)間を出入りする時に生じる振動により、移動物に姿勢変化を発生させる原因の一つになっています。このウエービングが加工面品位に影響します。

弊社の超高精度高速微細加工機Androidにおいては、特殊高精度ガイドの採用によりウエービングが30ナノメートルの実績があります。