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微細加工用語集

恒温室(こうおんしつ)

空気調和・冷却等において、恒温=一定の温度に保たれた部屋のこと。
その許される温度変化の幅が小さいほど恒温室の精度は高くなります。

加工室の温度を一定に保つことにより、工作機械や材料、測定器が熱の変化によって受ける膨張収縮を抑えることができ、高精度な加工を行いやすく、
微細加工の場合、20℃あるいは23°で保たれていることが多いです。

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