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2018年5月07日 - 微細加工
微細加工品の寸法測定について機械加工を行ったワークは、ノギスやマイクロなど接触することによって寸法を測定しています。一方で測定できないほど小さな寸法では、顕微鏡や投影機などの非接触式の測定器が用いられます。これらの測定機器を用いても寸法の測定は可能ですが、一般的には下記の問題があります。
・目視による位置合わせが困難である。
・測定に時間がかかる。
・手動でステージを動かす場合、目や腕が疲れる。
・Z方向（高さ）の測定が困難である。
このように、手動でひとつひとつ測定しなければならない顕微鏡や投影機は多くの問題点がありますが、一番の問題は、測定者個々人の誤差が発生してしまうことです。さらに疲れによって同一測定者でも測定結果にばらつきが生じてしまいます。
この「測定のばらつき」という問題を解決したのが、CNC画像測定器です。CNC画像測器とは、光学レンズにより拡大された映像をCCDカメラで撮像し、画像処理技術を用いてエッジを検出することで、非接触で対象物を寸法測定するものです。その機能として、エッジ検出・オートフォーカスや、高さ測定などがあります。
従って、微細加工においては、寸法保証のためにCNC画像測定器の活用が必須となります。ミクロン台の加工とともに、シビアな寸法公差が要求される微細加工においては、マシニングセンタなどの加工設備に加えて、こうした測定設備が充実しているかどうかが高品質な製品を提供できるカギとなります。
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