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PX(パイレックス)ガラス 微細穴・微細溝加工

PX(パイレックス)ガラス 微細穴・微細溝加工

業界 光学
用途 吸着板
加工内容 微細溝加工・微細穴加工
精度・公差  ―
寸法溝幅0.15mm 溝深さ0.1mm,貫通穴φ0.07mm,深さ0.5mm
板厚  ―
材質 PX(パイレックス)ガラス
ロット 1枚~
参考価格 5万円
納期 5日

概要

この製品は、強化ガラスの一種であるPX(パイレックス)ガラスに微細穴加工と微細溝加工を行ったもので、工学関係の部品の加工・保持・搬送するために用いられる吸着板になります。PX(パイレックス)ガラスを用いることで、加工対象物に紫外線を初めとする特殊な光線を照射しながら保持することができます。微細溝は溝幅0.15mm、溝深さ0.1mmで加工しており、その溝にφ0.07mm、深さ0.5mmの微細穴を施しています。通常金属や樹脂などの素材を溝加工をする場合は問題ありませんが、ガラスの場合はハマ欠けといわれる貝殻上に表面が欠けてしまいます。このようなPX(パイレックス)ガラスの特性を考慮し、加工条件を最適化することで、このような割れや欠けが非常に少ない微細加工品を製作することができます。

さらに、微細溝の中に精度良く微細穴を開けることは非常に高い技術が求められます。微細穴を開ける際に、微細溝内の傾斜によって穴位置がずれたり、あるいは、微細溝加工を行った部分は厚みが薄くなっているため、割れが生じることがあります。しかし、当社では工具を高速回転させることで一点にかかる負荷を軽減させ、割れを防止しています。このような繊細なワークに加工を施すことができるのも、これまで中川製作所が数多くの微細穴加工・微細溝加工を行う中で、多くの試行錯誤を積み重ねてきた結果です。

微細溝加工 事例一覧

材質 溝幅 溝深さ 加工精度  
A5052 0.33 0.35 ±0.01 詳しく見る
SUS304 幅0.1mm × 長さ10mm 0.8mm ±0.01 詳しく見る
PX(パイレックス)ガラス 0.15mm 0.1mm 詳しく見る
SUS430 1mm 0.3mm ± 0.03 mm 詳しく見る