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半導体製造装置向けシャワープレート

業界半導体
加工内容微細穴加工
精度・公差±0.01mm
穴径×穴数段穴加工(Φ1.0×Φ0.5) 2000穴
穴深さ25mm
材質アルミ
ロット1枚~
納期14日

半導体製造装置向けシャワープレートの概要

この微細穴加工品は、半導体製造の前工程で使用されるシャワープレートです。半導体に均一に気体を噴射させる必要があるため、微細穴加工においてもシビアな管理が求められます。

まず微細穴については、入口Φ1.0・出口Φ0.5の段穴加工が2000穴施されております。これの加工に際してはまずマシニング自体の加工位置精度がしっかり出ていることが求められる上、Φ1.0とΦ0.5の穴加工はそれぞれ表と裏から加工する必要があり、反転させチャッキングする際にズレなく位置決めを行えるかがポイントになります。さらにこのシャワープレートはΦ450あるため十分なテーブルサイズも必要です。

その点、微細加工ドットコムを運営する中川製作所では、碌々産業製超高精度高速微細加工機Androidを保有していることに加え、高い段取り技術がありますので、Φ1.0・Φ0.5を裏表から加工しても高い同軸度を実現することが可能です。微細穴加工なら中川製作所にお任せください。

微細穴加工 事例一覧

材質 穴径 穴数 穴ピッチ 穴位置精度  
アルミ 段穴加工(Φ1.0×Φ0.5) 1500穴 ±0.01 詳しく見る
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真鍮 φ0.03 1穴 ±0.005 詳しく見る
スミカスーパー φ0.045 50 0.06mm(壁厚:0.015mm) ±0.005 詳しく見る